周日的早晨,天音芯片厂车间里,段云以及吴刚带领的7名技术人员,还有那两名荷兰工程师,早早就等待了无尘车间的C区,准备对新生产线进行最后的测试。
吴刚等7名技术人员全部签订了保密协议,他们也是整个芯片厂几十名技术人员中,少数有资格进入C区的工作人员。
因为这4台阿斯麦光刻机还属于禁运产品,为了不给阿斯麦公司造成麻烦,段云对新生产线的消息进行了严格封锁,并且将机器上的logo和标识全部刮除,重新刷上了一层防锈漆,整个机器找不到关于厂家的任何标志。
另外 C区连接目前东芝生产线的 A区只有一个产品通行传输带,从东芝生产线生产出来的晶圆片会通过传输带运到C区,经过光刻处理之后,再重新传送到 A区,新车间非常的隐蔽,人员过道还加装了磁卡门禁,这道门禁支持录入20张磁卡,没有磁卡的人是无法进入C区的。
“可以开始了吗?”一切准备就绪之后,段云对两名荷兰工程师问道。
“可以了。”文森特应了一声,然后坐在控制台上,输入一串密码后,启动了光刻机。
相比于日本的东芝光刻机,阿斯麦的光刻机外观看起来更加的紧凑,主要分为三个部分,曝光台,测量台,以及拥有两个显示器的操作台。
随着操作台主显示器上一串代码闪过之后,曝光台开始发出了轻微的嗡鸣声,紧接着圆晶片开始进入光刻阶段。
这一刻在场的所有的人都屏住了呼吸,空气仿佛都凝固了一般。
因为没有一微米制成芯片技术的掩膜,所以段云采用的还是东芝公司三微米制程技术的flash闪存芯片掩膜,同时还有学习机上专用的仿制版6微米制程的6052芯片掩膜。
很快,10片圆晶片只用了不到5分钟就完成了光刻程序,经过传输带,传回了 A区的生产车间,在那里,这10片圆晶片还有经过蚀刻等一系列工序处理,最后进行成品率检验。
完成10片 Flash芯片圆晶片光刻处理之后,两名阿斯麦的工程师又重新更换了掩膜,准备再加工20片6052仿制品的芯片。
6微米的制成技术还是上世纪70年代末的水平,因为内部结构要比flash芯片简单的多,所以加工效率也非常的高,20块圆晶片只用了不到4分钟就加工完成,自然在场的所有人,包括段云在内,都感到了惊讶。
因为之前用东芝的光刻机加工这种芯片,20块圆晶片起码需要8~9分钟左右,而阿斯麦的这台光刻机效率整整快了一倍。
在芯片领域,技术代差不仅仅意味着产品技术的提升,同时也代表着生产效率的提高以及成本的大幅降低,最早的6052芯片刚刚研发出来的时候,每一枚芯片的价格高达200美元,然而到了80年代中期的时候,这个价格却变成了几美元,便宜了将近百倍,其中最重要的原因就是先进的芯片生产线设备在生产低端芯片的时候,效率是非常惊人的,而且价格也非常的低廉。
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