陶知行和嵇宜修一起亲自出马,陈退的事情就被狠狠地踩定性了。∵八∵八∵读∵书,.↗.▲o
顾松不关心这些。
他之前已经跟陶知行充分阐述了,要想将来这样的事情少一点,需要赶快建立制度。这件事在外可以不多宣扬,但在科研系统内部,得大力通报。
无论陈退那边最终可以追回多少损失,对他的判罚是一定会从重的了。解旦取现在还没牵涉到极深,测试负责单位那边和沪海的一些小领导,那就都面临着不同程度的处分。
简玉书和廖青山从武湖一起过来了。
廖青山和章儒京一样,他也觉得顾松疯了。
在现在的光刻机上进行改造,搞浸润式光刻?
我的天爷……
更疯狂的是,章儒京居然在陪他一起玩!
“顾总,你还顾得上流片的工艺攻关吗?”廖青山也是头大。
顾松疑惑地问:“不是有你吗?”
“……方案给我啊。”廖青山见他一副忘事了的样子,无奈地说道。
“哦对!”他从兜里拿出一个u盘递给他,“密码是你的合同编号。合同你签完了吧?”
廖青山看他一副警惕着不松手的样子,无奈地看着简玉书。
简玉书笑着点点头。
顾松乐呵呵地说道:“里面写得很详细了,照这个思路一步步推进。遇到难关了再找我。”
廖青山狐疑地走到一旁,从自己背包里把笔记本拿出来。
一步步推进?
他打开u盘,先没管里面的芯片设计资料,点开写着“工艺思路”的那个文件夹。
密密麻麻的,还有编号。
1、硅片脱水烘焙时间建议范围……
2、hmds蒸汽淀积,温度建议……时间建议……
3、光刻胶选择建议,动态涂胶,转速建议……
……
他越看嘴越大。∈八∈八∈读∈书,.≦.o≧
要是倪光北和林耀东在这里,就会问一句:“刺激吧?”
原来这就是所谓工艺攻关吗?
他大概知道后面都是些什么内容了,先收起笔记本拔下u盘,走回去问正在和牛俊明商量的顾松:“这么详细,你们实验室里已经有初步验证的?有效吗?”
顾松想了想点点头:“先照这样试试吧。回头把数据记录好再交给我分析分析。”
廖青山也没别的想法,他已经听章儒京说了顾松的“壮举”。手上有了方案,他就拉着章儒京过去准备流片的事。
顾松继续投入地跟牛俊明说道:“先看超纯水和气泡消除这一块吧,牛总你那边看这两个问题能不能准备着。物镜和浸润设备的设计方案,我得回去研究一下,再看精度要求具体要到什么参数。”
牛俊明点点头:“陶部长那边怎么说啊?”
“帮我协调在。我回去先把这个课题申报上去,名正言顺。咱们先做前期准备工作。”
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