“通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水，减小物镜射出的光折射角，从而提升物镜的孔径，提高分辨率。根据cd=k1*λ/na，用水替代空气后，就相当于193 nm 波长等效缩短到134 nm。”

“而且……它不需要重新研制光刻胶。”

苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人，嘴角微微一翘。

“具体的技术和消息，还请大家关注宏芯的相关发布会。”

……

五个小时后，宏芯以浸润式光刻技术攻克193nm光源的消息瞬间传遍了整个半导体行业。

相比行业消息的传播速度，新闻向来要晚一步，但也是在第二天晚上，新闻联播也正式公布了世界上最先进的光刻机诞生在国内，并成功通过专家组验收的消息。

一时间，宏芯的大门被数不清的媒体踏破，采访的同时，这些媒体也纷纷担起了科普责任，在各个渠道为民众普及起了什么叫光刻机，什么叫晶圆厂，一颗中央处理器又是怎么来的……

至于苏远山，则拒绝了所有的采访邀请，并在半导体峰会结束的第二天便启程前往了硅谷。

浸润式光刻的荣耀就留给该享受荣耀的人好了。

*

*

硅谷，山间别墅。

卡莉风风火火地走进大门，她丝毫不介意苏远山哈欠连天，甚至还穿着拖鞋。便一屁股坐在他的对面，盯着苏远山布满血丝的眼睛问：“boss，是真的吗？”

苏远山忍了个哈欠，微笑道：“你就算不相信我们的媒体，你也要相信我啊……马上我们就能拿出65nm的制程工艺，到时候还能造假不成？”

“……”卡莉一阵无语。

她当然愿意相信苏远山，但她问苏远山，并不是不相信的问题，而是……她觉得太不可思议。

“怎么办到的？林本坚的团队是主要团队吗？”

“是，但怎么办到的……我还真不知道。他们研发了三年，攻克了数百个技术节点，嗯……也花了不少钱。”

“量产呢？”卡莉马上问道了关键。

“大概明年就能推出量产型号。”苏远山知道卡莉想问什么，他微微一笑道：“卡莉，我不知道你对晶圆厂那一套技术了解多少……但我可以告诉你，根据目前的推测，浸润式光刻技术的极限甚至可以到7nm线宽——如果euv无法被攻克，那么在未来很长一段时间内，如何依靠工艺来降低制程，就是晶圆厂的最主要任务。”

“可以到7nm？”

“嗯，多重曝光就行。”

顿了顿，苏远山正色道：“卡莉，你一定要有一个清醒的认识，论制程推进，再没有任何人比德远更有实力和魄力。”

卡莉抿了抿嘴，她倒是很想反驳一下……最后发现什么都反驳不了。

因为这是事实。

她是亲自参与了at&t与华晶的晶圆厂设备出售一案——而那时，德远还只是工地！

可现在才几年？德远便从0.5微米一路追赶到0.35，0.25，0.13……其速度之快，堪称奇迹。

几秒的冷场，便让苏远山终于忍不住了，他捂着嘴，打了个哈欠。

“卡莉，你看看帮我约一下桑德斯老爷子。”

卡莉回过神来，略一思索便点头，随后问道：“三顾茅庐，这是你的最后一顾？”

“哈哈，是的。对了，最好约到发布会之后，我这两天得好好休息一下才行。”

“说起来，桑德斯老爷子也确实该退休了。”

苏远山一边伸着懒腰，一边笑道。

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