换上全套防尘装备，穿过风淋室，一群全身上下裹得严严实实的工程师早已站成两排等在面前。

苏远山看着胸卡，认出了戴着口罩的庞克明——他在成光所时代便是郑振川的“徒弟”，如今郑振川虽然还活跃在技术一线，但毕竟是当老总的人，精力难以为继。所以便把攻克难关的任务交给了庞克明。

而且按照宏芯的计划，在完成浸润式光刻的攻克后，庞克明将就地在沪市建立分厂。

毕竟，作为工业和出口重镇，沪市比起省城的优势确实大不少，更重要的是，沪市这边有德远总部。今后如果不出意外，省城这边的总部将更多会保留科研单位，进行技术攻关，而装配工作会逐渐转移到沪市这边。

“庞工。”

“山总，我懒得再防尘服，就没出来，你没见怪吧？”

“呵呵，没有没有，大家辛苦了。”苏远山一边和众人打着招呼，一边望向前方不远处的“大机柜”。

很好，看来确实是万事俱备，只欠自己这场东风了。

“在诸位领导的……”庞克明带着苏远山走向光刻机，他看了眼跟在苏远山身后的几位大佬，笑着替苏远山介绍道。

“庞工，捡重点说。”苏远山目不转睛地盯着光刻机，听到庞克明要搞这种形式主义，马上摆手：“多久能进厂？”

庞克明便看到，一干人的脸上都露出了笑意，他也轻轻咳了一声，笃定地道：“现在就可以进厂。”

“哦？意思是，现在就能量产了？”苏远山转身看着庞克明，很有几分迟疑——他一直关注着这边团队的进度，是以对光刻机参数了如指掌，压根不需要庞克明介绍。

他最看重的，还是何时能够量产。

原型机和量产机，那真的是有区别的。

“在设计之初，我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道：“当然，现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮，不过让这台原型机进厂跑起来，然后提供维护的方案，我们肯定是有的。”

苏远山又转头看着林本坚等人，只见这老几位虽然带着口罩，但也都眼角含笑，心中便知道庞克明所言非虚，当下便哈哈一笑，喜上眉梢。

“不错，不错！走，我看一眼测试。”

“好的，而且为了测试，我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序，它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”

庞克明示意下属开始演示。

“山总，传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版，即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形，在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据，然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位，简单方便，啪的一闪，就能直接得出光刻机的参数了。” 本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第1页/共3页