汽车驶入张江高新区。

此时的张江远不像后世那样繁华，尚有大片的农村隐在竹林树荫之间，不过宽阔的水泥路面却宣告了此地的未来。

厂门口，“芯德国际”四个鎏金大字闪闪发光——合资厂的中文名便在远芯和德仪中各自取了一个字。

张汝金率领圣光峰，意大利人阿尔齐德，以及前来圈地的陈建国前来迎接。

陈建国自从回到远芯开始搞铜制程之后便一直往全国各地几个能搞化学气相沉淀的实验室跑，还跟着苏星河教授出国去溜达了一圈。拿他的话说就是磨刀不误砍柴工，先把理论上搞懂再说。

不过制程技术终究还是要落在实验上，远芯虽然也有一条组装起来的芯片线，但碍于设备和技术都落后，只能做权宜之计。

现在这边晶圆厂落地，陈建国当然要把实验室搬到这边来了。

“张博士。”苏远山刚下车便大步上前，握着张汝金的手情真意切地道：“辛苦了。”

“不辛苦。”张汝金比苏远山矮了半个头，他望着苏远山年轻的脸庞，自然也能感觉出这个年轻人对自己那种发自内心的尊敬——这其实困扰了他多时。

后来直到来到沪市，接触到了远芯的员工，继而参加年会，和李明柳，姜涛等高层熟悉后，他对苏远山的了解这才算多了一些。

当然了，随着陈建国这苏远山的亲传师兄过来，他对苏远山的认识这才算真正的立体起来。

也大概猜到了苏远山为什么会格外的“尊重”自己。

和其他人一一握手，互相介绍后，张汝金率先前行了一步：“走，我们去看看光罩厂。”

光罩，也叫光掩膜版，英文名字叫Mask。是一种由石英为材料制成的，可以用在半导体曝光制程上的母版。从芯片生产程序来说，它属于前期工序。

而这种从光罩母版的图形转换到晶圆上的过程，就像印钞机工作一样。

我们可以把光刻机想象成印钞机，把钞票母版的图形印到纸张上的过程，就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样，都需要有母版，这个母版在半导体制造上就是光罩。

为了制造一款芯片需要几百道工序，光罩也是不只一张的，原则上，工艺制程精度越高，需要的光罩数量也就越多。

譬如在后世，在14nm工艺制程上，大约需要60张光罩，7nm可能需要80张光罩甚至更多。

当然光罩的品质要求也是不同的，对于某些对精度要求很高的工序，相对应的光罩对精度的要求时最高的，比如晶体管相关的光罩，而对精度要求不那么高的工艺，比如Pad（打线孔）等要求就低一些，光罩价格也便宜一些。

先进制程对光罩精度的要求越来越高，同时不能有缺陷，所以光罩制造后的检查也很重要。 本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第1页/共4页